LIF400型光柵尺德國(guó)HEIDENHAIN維修保養(yǎng)及參數(shù)

德國(guó)HEIDENHAIN原裝LIF400型光柵尺簡(jiǎn)單的說(shuō)，成像掃描原理采用透射光生成信號(hào)，兩路柵距相同或相近的光柵尺光柵與掃描掩膜彼此相對(duì)運(yùn)動(dòng)。掃描掩膜的基體為透明體，而測(cè)量基準(zhǔn)上的光柵可透射光或反射光。掃描掩膜與柵尺的相對(duì)運(yùn)動(dòng)使第一級(jí)的衍射光產(chǎn)生相位移：當(dāng)光柵移過(guò)一個(gè)柵距時(shí)，前一級(jí)的+1衍射光在正方向上移過(guò)一個(gè)光波波長(zhǎng)，-1衍射光在負(fù)方向上移過(guò)一個(gè)光波波長(zhǎng)。由于這兩束光在離開掃描光柵時(shí)相互干涉，光波彼此相對(duì)移動(dòng)兩個(gè)光波波長(zhǎng)。也就是說(shuō)，僅相對(duì)運(yùn)動(dòng)一個(gè)柵距可以得到兩個(gè)信號(hào)周期。當(dāng)編碼器不動(dòng)或停電時(shí)，依靠計(jì)數(shù)設(shè)備的內(nèi)部記憶來(lái)記住位置。

這樣，當(dāng)停電后，編碼器不能有任何的移動(dòng)，當(dāng)來(lái)電工作時(shí)，編碼器輸出脈沖過(guò)程中，也不能有干擾而丟失脈沖，不然，計(jì)數(shù)設(shè)備記憶的零點(diǎn)就會(huì)偏移，而且這種偏移的量是無(wú)從知道的，只有錯(cuò)誤的生產(chǎn)結(jié)果出現(xiàn)后才能知道。解決的方法是增加參考點(diǎn)，干涉掃描光柵尺的柵距一般為8 m、4 m甚至更小。其掃描信號(hào)基本沒(méi)有高次諧波，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分。因此，這些光柵尺特別適用于高分辨率和高精度應(yīng)用當(dāng)平行光穿過(guò)光柵時(shí)，在一定距離處形成明/暗區(qū)。掃描光柵就位于該位置。

當(dāng)兩個(gè)光柵相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，穿過(guò)光柵尺的光被調(diào)制，如果狹縫對(duì)齊，光線通過(guò)。如果一條光柵的柵線與另一條光柵上的狹縫對(duì)齊，光線無(wú)法通過(guò)。光電池組將光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。特殊結(jié)構(gòu)的掃描掩膜將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號(hào)。柵距越小，掃描掩膜和光柵尺帶間的間距越小，公差越嚴(yán)。

技術(shù)參數(shù)：

光柵周期8.000 m 熱系數(shù)

線性膨脹0·10-6K-1

準(zhǔn)確度等級(jí)±1.0微米

測(cè)量長(zhǎng)度120毫米

參考點(diǎn)位置ML/2——在測(cè)量長(zhǎng)度的中間

緊固類型可粘附的

厚度  2.90毫米

寬度 10.00毫米